無塵室裝修施工程

　無塵室裝修施工工程 無塵室亦稱為無塵室或 潔 凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)�？刂瓶諝鈶腋∥⒘�濃度，從而達到適當(dāng)?shù)奈⒘�潔凈度級別。

　無塵室 裝修施工是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。

　無塵室概述 無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

　無塵室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非 100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

　如表所示，每立方米將大于 0.5 微米粒徑的微塵數(shù)量控制在 3500 個以下，就達到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的 A 級。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于 A 級，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米 1000 個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的 1K 級別。

　控管項目 1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

�、� 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。

　⒊ 溫度和濕度之控制。

　⒋ 壓力之調(diào)節(jié)。

　⒌ 有害氣體之排除。

�、� 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。

�、� 靜電之防制。

�、� 電磁干擾預(yù)防。

�、� 安全因素之考慮。

�、� 節(jié)能之考量。

�、徽斩鹊牡恼{(diào)節(jié) 無塵室設(shè)備

　風(fēng)淋室 風(fēng)淋室系列產(chǎn)品是一種通用性較強的局部凈化設(shè)備，安裝于潔凈室與非潔凈室之間。當(dāng)人與貨物要進入潔凈區(qū)時需經(jīng)風(fēng)淋室吹淋，其吹出的潔凈空氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃，能有效的阻斷或減少塵源進入潔凈區(qū)。風(fēng)淋室/貨淋室的前后兩道門為電子互鎖，又可起到氣閘的作用，阻止未凈化的空氣進入潔凈區(qū)域。

　FFU FFU 可模塊化連接使用，使得 FFU 廣泛應(yīng)用于無塵室、無塵操作臺、無塵生產(chǎn)線、組裝式無塵室和局部百級等應(yīng)用場合。FFU 設(shè)有初、高效兩級過濾網(wǎng)。風(fēng)機從 FFU 頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面以 0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出。它為不同尺寸大小，不同潔凈度等級的潔凈室、微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新中，即可提高潔凈度級別，降低噪音和振動，也可大大降低造價，安裝維護方便，是潔凈環(huán)境的理想部件。

　 無塵室構(gòu)成 無塵室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的)，否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室: ⑴天花板系統(tǒng) 包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam 或 U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid 或Ceilingframe)。

�、瓶照{(diào)系統(tǒng) 包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。

�、歉魤Π�(Partitional wall) 包括窗戶、門。

�、鹊匕�

　包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。

�、烧彰髌骶� 包括日光燈、黃色燈管等。

　⑹無塵室之建筑主體構(gòu)造 一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構(gòu)造，必須滿足如下之條件: A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕; B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子; C.吸濕性小; D.為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高; 維護管理 潔凈技術(shù)在近 20 年發(fā)展迅速，各種規(guī)模、不同等級的無塵室在電子、精密機械、航天、醫(yī)療、食品、化妝品、生物制藥等行業(yè)發(fā)揮著日益重要的作用，為提高產(chǎn)品質(zhì)量、開發(fā)高新產(chǎn)品做出了重要貢獻。無塵室如果設(shè)計是正確、合理的，施工建造是高質(zhì)量的，但在運行維護管理中不科學(xué)、不嚴格、必將使無塵室的空氣潔凈度逐漸下降，造成實際生產(chǎn)環(huán)境中的多項指標(biāo)偏離規(guī)定要求，從而產(chǎn)品質(zhì)量下降，甚至不合格。

　無塵室人員管理，制定專職管理人員的職責(zé)、無塵室人員的準(zhǔn)入制度、人員培訓(xùn)教育規(guī)定、進入無塵室人員的"人凈程序"管理。物流管理，物料進入、各類設(shè)備進入，以及相關(guān)設(shè)備、管線的維護管理，應(yīng)做到不得將微粒、微生物帶入室內(nèi)。潔凈度管理，包括潔凈服采購和制作、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規(guī)定等。清掃、滅菌管理，對于無塵室內(nèi)的各種設(shè)備和設(shè)施的清掃滅菌方法，周期和檢查作明確的規(guī)定，防止、消除無塵室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留及繁殖。嚴格各類設(shè)備、設(shè)施的維護管理，制定相應(yīng)的操作規(guī)程，保證各類設(shè)備、設(shè)施按要求正常運轉(zhuǎn)，包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、各類水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備和器具等，以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度級別。

　監(jiān)控?zé)o塵室在使用過程中正常的運行和維護，應(yīng)對室內(nèi)的運行狀況及相關(guān)設(shè)施進行定期檢查。如:在規(guī)定的時間、地點，用粒子計數(shù)器測定控制粒徑的微粒數(shù);在規(guī)定時間、地點測定沉降菌落數(shù)或浮游菌數(shù)等;溫濕度方面，在規(guī)定的時間、地點測定和核對連續(xù)測定記錄;測量凈化空調(diào)系統(tǒng)的高效過濾器的壓差，檢查空氣過濾器是否堵塞、安裝的密封墊是否完好或過濾器損壞引起的泄露情況，使用風(fēng)速計檢查局部排風(fēng)裝置的風(fēng)量;使用噪聲測定儀在規(guī)定的時間、地點測定噪聲值;檢查送風(fēng)機軸承、送風(fēng)機的運行狀態(tài)、塵埃和污物，以及送、回風(fēng)管道內(nèi)部和送風(fēng)口的腐蝕及污垢等情況;無塵室內(nèi)是否保值清潔、頂棚和墻面是否有裂縫或

　腐蝕;涂敷狀態(tài)、機械和設(shè)備類有沒有異�，F(xiàn)象等，必須逐個列表檢查，不能遺漏任何一項;使用照度表在規(guī)定的時間、地點測定照度值;使用壓差表測定無塵室內(nèi)外的靜壓差。

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